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I-LINE |
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我们在半导体应用的产品有G-line与I-line等光刻胶,主要应用于晶圆代工产业的黄光制程;此外,我们也提供一系列的相关产品,包括光刻胶的显影液等。基于关怀顾客、共创价值的理念,永光将持续以无尘室生产技术及精密分析仪器确保产品品质,为顾客提供更佳的服务效能。
品名 |
用途 |
优点 |
EPI620 |
高解析度和耐热性佳的正型光阻剂,运用于积体电路的制造。 |
高解析度/附着性佳/耐热性佳/较大的制程宽容度。 |
EPI680 |
高感光性正型光阻,运用于积体电路制造和PASSIVATION LAYER 保护层使用。 |
高敏感度/附着性佳/较大的制程宽容度。
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