我们提供LED上游制程使用的各种基板抛光用研磨浆料,分别应用于蓝宝石基板与
矽晶圆基板及不锈钢材的前、后段抛光制程。我们也提供LED中游阶段的黄光制程使用
的正型与负型光刻胶。 为了使客户省略强酸蚀刻贵金属之制程,我们开发应用于Lift-
off制程的光刻胶;此外,提高LED发光效率的PSS(Pattern Sapphire Substrate)制
程所使用的光刻胶,也是我们供应客户的重点产品。
品名 |
用途 |
优点 |
EPI612 |
适用于LED蓝宝石基板图形化PSS制程 |
高感光度/附着性佳/耐热性佳/较大的制程宽容度。 |
EPG516 |
适用于积体电路的制造正型光阻 |
高敏感度/附着性佳/耐热性佳/较大的制程宽容度。 |
EPG518 |
适用于积体电路的制造正型光阻 |
高敏感度/附着性佳/耐热性佳/较大的制程宽容度。 |
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